In addition to control of particula

In addition to control of particulates, the air parameters of temperature, humidity, and smog must be specified and controlled in a cleanroom. Temperature control is necessary for operator comfort and process control. Many of the wet processes of etching and cleaning take place in non-temperature-controlled baths, and rely on the room temperature for control. This control is important. A rule of thumb is that chemical reactions, such as an etch rate, change by a factor of 2 with a 10°C change in temperature. A typical temperature range is 72°F, ±2°F (22.2°C, ±1.1°C).

Results (Vietnamese) 1:

Ngoài kiểm soát của hạt, các thông số máy của nhiệt độ, độ ẩm, và sương mù phải được quy định và điều khiển trong một phòng sạch. Kiểm soát nhiệt độ là cần thiết để kiểm soát sự thoải mái và quá trình điều hành. Nhiều người trong số các quy trình ướt khắc và làm sạch mất đặt trong phòng tắm không nhiệt độ-điều khiển, và dựa vào nhiệt độ phòng để kiểm soát. Kiểm soát này là quan trọng. Một quy luật của là phản ứng hóa học, chẳng hạn như một tỷ lệ etch, thay đổi bởi một nhân tố của 2 với một thay đổi 10 ° C trong nhiệt độ. Một phạm vi nhiệt độ điển hình là 72° F, ±2 ° F (22,2 ° C, ±1.1 ° C).

Results (Vietnamese) 2:

Ngoài việc kiểm soát các hạt bụi, các thông số khí của nhiệt độ, độ ẩm, và sương khói phải được xác định và kiểm soát trong một phòng sạch. Kiểm soát nhiệt độ là cần thiết để điều hành thoải mái và điều khiển quá trình. Nhiều người trong số các quá trình ướt chạm khắc và làm sạch diễn ra trong phòng tắm không kiểm soát nhiệt độ, và dựa vào nhiệt độ phòng để kiểm soát. Việc kiểm soát này là rất quan trọng. Một nguyên tắc của ngón tay cái là phản ứng hóa học, chẳng hạn như là một tỷ lệ etch, sự thay đổi của hệ số 2 với một sự thay đổi 10 ° C trong nhiệt độ. Một phạm vi nhiệt độ điển hình là 72 ° F, ± 2 ° F (22.2 ° C, ± 1.1 ° C).