The experimental ALD process is car

The experimental ALD process is carried out using the
Cambridge NanoTech Savannah S100 system. As shown in Fig. 1,
the reactor chamber is customized for up to 100 mm substrates
with nearly 150 mm inner diameter and 6 mm in depth.

Results (Thai) 1:

กระบวนการ ALD ทดลองดำเนินการโดยใช้การระบบเคมบริดจ์ NanoTech สวันนาห์ S100 ตามที่แสดงใน Fig. 1ห้องเครื่องปฏิกรณ์เป็นแบบกำหนดเองสำหรับพื้นผิวถึง 100 มม.เกือบ 150 มม.ภายในเส้นผ่าศูนย์กลางและความลึก 6 มม.

Results (Thai) 2:

กระบวนการ ALD ทดลองจะดำเนินการโดยใช้
ระบบเคมบริดจ์ NanoTech วานนาห์ S100 ดังแสดงในรูป 1
ห้องปฏิกรณ์ที่กำหนดเองได้ถึง 100 มิลลิเมตรพื้นผิว
ที่มีเกือบ 150 มิลลิเมตรเส้นผ่าศูนย์กลางภายในและ 6 มมในเชิงลึก

Results (Thai) 3:

กระบวนการ ald ทดลองโดยใช้
เคมบริดจ์ด้านสะ s100 ระบบ ดังแสดงในรูปที่ 1
เครื่องปฏิกรณ์หอเองถึง 100 มม. พื้นผิว
เกือบ 150 มม. ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 6 มม. ความลึก