Mini-environment layouts must inclu

Mini-environment layouts must include storage for wafers (in pods) waiting for process tool availability. Current technology calls for storage units, called stockers, that hold the waiting pods or wafers. Layouts may include a central storage system with or without buffer storage at each tool.

Results (Vietnamese) 1:

Mini-môi trường bố trí phải bao gồm lưu trữ cho tấm wafer (trong cụm) chờ cho quá trình công cụ sẵn có. Công nghệ hiện tại các cuộc gọi cho các đơn vị lưu trữ, được gọi là stockers, mà giữ chờ đợi vỏ hoặc tấm. Bố trí có thể bao gồm một hệ thống Trung tâm lí có hoặc không có lưu trữ đệm tại mỗi công cụ.

Results (Vietnamese) 2:

bố trí Mini-môi trường phải bao gồm lưu trữ cho các tấm (trong vỏ) chờ sẵn công cụ trình. Công nghệ hiện các cuộc gọi cho các đơn vị lưu trữ, gọi là stockers, mà giữ các cụm chờ đợi hoặc tấm. Bố trí có thể bao gồm một hệ thống lưu trữ trung ương có hoặc không lưu trữ đệm tại mỗi công cụ.