absorption peaks were observedthat

absorption peaks were observed
that were consistent with AlF(CH3)2 and HF species on the surface after the TMA and HF exposures

Results (Thai) 1:

การดูดซึมยอดสุภัคที่ไม่สอดคล้องกับ AlF (CH3) 2 และ HF สปีชีส์บนพื้นผิวหลังจากถ่าย TMA และ HF

Results (Thai) 2:

ยอดการดูดซึมถูกตั้งข้อสังเกต
ว่ามีความสอดคล้องกับ Alf (CH3) 2 และพันธุ์ HF บนพื้นผิวหลังจากที่เปิดรับ TMA และ HF

Results (Thai) 3:

ยอดการดูดซึมได้สอดคล้องกับอัลฟ์ ( CH3 ) 2 และ HF สปีชีส์บนพื้นผิวหลัง TMA และ HF รูป