7.9 Penning (Cold Cathode) Ionizati

7.9 Penning (Cold Cathode) Ionization Gauge 11
Gauges are generally calibrated for air (78%
N2, 21% O2, 1% Ar). Some typical sensitivities
are given in Table 7.1. The true pressure
is given by the gauge reading divided by the
gauge sensitivity.
Table 7.1: Gauge Factors for Ionization
Tube
Air 1.00 O2 0.85 N2 1.10
He 0.14 CO2 1.20
For example if the chamber contains Argon
and shows a pressure of 6 × 10−6 Torr, the
true pressure is (6/1.2) × 10−6 = 5 × 10−6
Torr.
The actual gauges can be purchased in glass
tubes or ”nude”. Nude ionization tubes are
mounted on a flange but stick directly into
the chamber. This eliminates any factors relating
to conductance of tubes, and is important
at UHV pressures.

Results (Thai) 1:

7.9 penning วัด Ionization (เย็นแคโทด) 11มาตรวัดโดยทั่วไปได้รับการปรับเทียบสำหรับอากาศ (78%N2, O2 21%, 1% Ar) บางรัฐทั่วไปได้ในตาราง 7.1 แรงดันจริงกำหนด โดยการอ่านมาตรวัดโดยการวัดความไวตาราง 7.1: วัดปัจจัยการ Ionizationหลอดอากาศ 1.00 O2 0.85 N2 1.10เขา 0.14 CO2 1.20ตัวอย่างเช่นถ้าหอการค้าประกอบด้วยอาร์กอนและแสดงความดัน 6 × 10−6 ธอร์ การความดันจริงเป็น 10−6 × (6/1.2) = 5 × 10−6ธอร์มาตรวัดจริงสามารถซื้อได้ในแก้วท่อหรือ "เปลือย" มีท่อเปลือย ionizationติดตั้งบนจานแต่ติดลงหอ ช่วยลดปัจจัยต่าง ๆ ที่เกี่ยวข้องการต้านทานของหลอด และมีความสำคัญที่ความดัน UHV

Results (Thai) 2:

7.9 คอก (Cold Cathode) ไอออนไนซ์เกจ 11
มาตรวัดมีการปรับเทียบโดยทั่วไปสำหรับอากาศ (78%
N2, O2 21%, 1% Ar) ความเปราะบางโดยทั่วไปจะได้รับในตารางที่ 7.1 ความดันที่แท้จริงจะได้รับจากการอ่านมาตรวัดหารด้วยที่ไววัด. ตารางที่ 7.1: วัดปัจจัยในการไอออนไนซ์ท่ออากาศO2 1.00 0.85 1.10 N2 เขา CO2 1.20 0.14 เช่นถ้าห้องมีอาร์กอนและแสดงให้เห็นถึงแรงกดดันจาก 6 × 10-6 Torr ที่ความดันที่แท้จริงคือ(6 / 1.2) × 10-6 = 5 × 10-6 Torr. มาตรวัดที่เกิดขึ้นจริงสามารถซื้อได้ในแก้วหลอดหรือ "เปลือย" ท่อไอออไนซ์เปลือยจะถูกติดตั้งอยู่บนหน้าแปลนแต่ติดตรงเข้าไปในห้อง นี้จะช่วยลดปัจจัยที่เกี่ยวข้องที่จะเป็นสื่อกระแสไฟฟ้าของหลอดและเป็นสิ่งสำคัญที่ความดันUHV

Results (Thai) 3:

7.9 penning ( แคโทดเย็น ) ไอวัด 11
เกจโดยทั่วไปจะปรับอากาศ ( 78 %
2 , 21 % O2 1% AR ) บางทั่วไปความไว
ยกให้เป็นตารางที่ 7.1 .
ความดันจริงให้โดยมาตรวัดอ่านแบ่งโดยวัดความไว
.
ตารางที่ 7.1 : วัดปัจจัยสำหรับวางท่อแอร์ 1.00 O2

( N2 1.10 1.20

เขา 0.14 CO2 ตัวอย่างเช่นถ้าห้องมีอาร์กอน
และการแสดงที่ความดัน 6 × 10 − 6 ทอร์ ,
ความดันจริง ( 6 / 1 ) × 10 −× 10 − 3 = 5
6
ทอร์ วัดจริงสามารถซื้อได้ในหลอดแก้ว
หรือ " นู้ด " เปลือยวางท่อ
ติดหน้าแปลน แต่ติดโดยตรงลงใน
Chamber นี้จะขจัดใด ๆปัจจัยที่
เพื่อความนำของหลอด และที่สำคัญ

uhv ความดัน