3.1 The Penning gaugeThe working pr

3.1 The Penning gauge
The working principle of this type of gauge is to generate a discharge between two metal electrodes
(anode and cathode) by applying a DC high voltage. The discharge current is pressure dependent and
serves as measurand for pressure. The lower measurement limit lies around 1 Pa, since at lower
pressures the gas density is too low to generate enough charge carriers to maintain the discharge.
To extend this limit, a magnetic field crossing the electrical field is used. This magnetic field
greatly increases the path length of the electrons from cathode to anode, so that the electron can
generate another electron by impacting on a gas molecule to maintain the discharge (Penning
discharge). Owing to their higher mass the ions are only slightly affected in their trajectories by the
magnetic field and travel directly to the cathode. Secondary electrons released when the ions hit the
cathode (cathode sputtering) support the discharge.
In crossed field gauges, the ion current vs. pressure relation follows the equation

Results (Thai) 1:

3.1 Penning มาตรวัดหลักการทำงานของเครื่องวัดชนิดนี้จะสร้างปล่อยระหว่างหุงตโลหะสอง(แอโนดและแคโทด) โดยใช้แรงดันไฟฟ้าสูง DC ปัจจุบันจำหน่ายจะขึ้นอยู่กับความดัน และทำหน้าที่เป็น measurand สำหรับแรงดัน ขีดจำกัดล่างของวัดอยู่ประมาณ 1 Pa เนื่องจากที่ต่ำความดันความหนาแน่นของก๊าซจะต่ำเกินไปในการสร้างสายพอค่ารักษาจำหน่ายขยายขีดจำกัดนี้ เป็นใช้สนามแม่เหล็กข้ามเขตไฟฟ้า สนามแม่เหล็กนี้เพิ่มความยาวเส้นทางของอิเล็กตรอนจากแคโทดกับแอโนด อย่างมากเพื่อให้อิเล็กตรอนสามารถสร้างอิเล็กตรอนอื่น โดยผลกระทบต่อในโมเลกุลแก๊สเพื่อรักษาปล่อย (Penningออก เนื่องจากมวลของพวกเขาสูง ประจุมีเพียงเล็กน้อยผลใน trajectories ของพวกเขาโดยการสนามแม่เหล็กและการเดินทางไปยังแคโทดโดยตรง ออกเมื่อกดประจุอิเล็กตรอนสองตัวแคโทด (แคโทดสปัตเตอร์) สนับสนุนการจำหน่ายในฟิลด์ข้ามเกจ ไอออนปัจจุบันเทียบกับความดันความสัมพันธ์ตามสมการ

Results (Thai) 2:

3.1
วัดคอกหลักการทำงานของประเภทของการวัดนี้คือการสร้างการไหลระหว่างสองขั้วโลหะ
(ขั้วบวกและขั้วลบ) โดยการใช้แรงดัน DC สูง
ปัจจุบันการปล่อยความดันขึ้นและทำหน้าที่เป็นการวัดความดัน วงเงินที่ต่ำกว่าการวัดอยู่ประมาณ 1
ป่าตั้งแต่ที่ต่ำกว่าความกดดันความหนาแน่นของก๊าซอยู่ในระดับต่ำเกินไปที่จะสร้างผู้ให้บริการค่าใช้จ่ายเพียงพอที่จะรักษาปล่อย.
เพื่อขยายขีด จำกัด นี้สนามแม่เหล็กข้ามสนามไฟฟ้าที่ใช้ นี้สนามแม่เหล็กที่เพิ่มขึ้นอย่างมากความยาวเส้นทางของอิเล็กตรอนจากขั้วบวกขั้วลบไปเพื่อให้อิเล็กตรอนสามารถสร้างอิเล็กตรอนอื่นโดยส่งผลกระทบต่อโมเลกุลก๊าซที่จะรักษาปล่อย(คอกปล่อย) เนื่องจากมวลที่สูงขึ้นของพวกเขาไอออนได้รับผลกระทบเพียงเล็กน้อยในลูกทีมของพวกเขาโดยสนามแม่เหล็กและการเดินทางโดยตรงกับขั้วลบ อิเล็กตรอนรองปล่อยออกมาเมื่อไอออนตีแคโทด (ขั้วลบสปัตเตอร์) สนับสนุนการปล่อย. ในมาตรวัดสนามข้ามไอออนปัจจุบันความสัมพันธ์กับความดันสมการดังต่อไปนี้

Results (Thai) 3:

3.1 เพนนิ่งเกจ
หลักการทำงานของเครื่องวัดชนิดนี้คือการสร้างการระหว่างสองขั้วไฟฟ้าโลหะ
( ขั้วบวกและขั้วลบ ) โดยการใช้กระแสตรงแรงดันสูง . ปล่อยกระแสแรงดัน และทำหน้าที่เป็น measurand
สำหรับความดัน กว่าการวัดจำกัดอยู่ประมาณ 1 ป่า ตั้งแต่ระดับมัธยมศึกษาตอนต้น
ความดันก๊าซความหนาแน่นต่ำเกินไปที่จะสร้างผู้ให้บริการคิดค่าพอที่จะรักษาตกขาว .
ขยายวงเงินนี้สนามแม่เหล็กข้ามสนามไฟฟ้าที่ใช้ นี้สนามแม่เหล็ก
ช่วยเพิ่มความยาวเส้นทางของอิเล็กตรอนจากขั้วลบไปขั้วบวก ดังนั้นอิเล็กตรอนสามารถ
สร้างอิเล็กตรอน โดยส่งผลกระทบต่อก๊าซโมเลกุลเพื่อรักษาตกขาว ( penning
จำหน่าย )เนื่องจากมวลของพวกเขาเป็นเพียงเล็กน้อยที่สูงไอออนผลกระทบในวิถีของตนเอง โดย
สนามแม่เหล็กและเดินทางไปยังขั้วลบ อิเล็กตรอนทุติยภูมิออกเมื่อไอออนแคโทด ( Cathode ตี

ทำงาน ) สนับสนุน ปล่อย ใน ข้ามวัดสนาม , ไอออนในปัจจุบันและความสัมพันธ์แรงดันตามสมการ