Epitaxial growth of compound semico

Epitaxial growth of compound semiconductor layers is mandatory for the fabrication of electronic and photonic devices. The possibility of growing high quality multilayer heterostructures with excellent control of uniformity in layer thickness and composition, has led to tremendous progress in device developments in the last years. In this progress a continuous interplay between device improvements and advances in materials has taken place. The evolution of metalorganic chemical vapor deposition, MOCVD, as a growth technology for multilayer heterostructures has provided access to improved and new device concepts and facilitated the large scale fabrication of multilayer device structures. In general MOCVD (also referred to as MOVPE, metalorganic vapor phase epitaxy, in order to stress the epitaxial character in the growth process, or OMVPE) is the growth of compound semiconductor layers by metalorganic and hydride precursors in the gas phase. First experiments were reported by Didchenko, Alix and Toeniskoetter in 1960, when they investigated the formation of InP by trimetbylindium and phosphine at about 270 to 300°C.t11 Independent of these first growth studies with metalorganic compounds and hydrides, Harrison and Tompkins prepared GaAs and InSb in 1962[*1and
Manasevit grew single crystal GaAs fihns on insulating substrates in 1936

Results (Vietnamese) 1:

Trải tăng trưởng của lớp hợp chất bán dẫn là bắt buộc cho chế tạo thiết bị điện tử và quang tử. Khả năng phát triển heterostructures đa lớp chất lượng cao với các điều khiển tuyệt vời của tính đồng nhất trong lớp dày và thành phần, đã dẫn đến sự tiến bộ to lớn trong sự phát triển của thiết bị trong năm qua. Trong tiến trình này một hổ tương tác dụng liên tục giữa các thiết bị cải tiến và tiến bộ trong liệu đã diễn ra. Sự tiến hóa của metalorganic hơi hóa chất lắng đọng, MOCVD, là một công nghệ phát triển cho đa lớp heterostructures đã cung cấp truy cập đến các khái niệm thiết bị mới và được cải thiện và tạo điều kiện sản xuất quy mô lớn của các cấu trúc đa lớp thiết bị. Nói chung MOCVD (cũng được gọi là MOVPE, metalorganic hơi pha epitaxy, để nhấn mạnh các nhân vật trải trong quá trình phát triển, hoặc OMVPE) là sự tăng trưởng của lớp hợp chất bán dẫn bởi metalorganic và hiđrua tiền chất trong giai đoạn khí. Thí nghiệm đầu tiên đã được báo cáo của Didchenko, Alix và Toeniskoetter vào năm 1960, khi họ điều tra sự hình thành của InP bởi trimetbylindium và phosphine lúc khoảng 270 để 300°C.t11 độc lập của các nghiên cứu phát triển đầu tiên với hợp chất metalorganic và hydrua, Harrison và Tompkins chuẩn bị GaAs và InSb năm 1962 [* 1andManasevit lớn tinh thể duy nhất GaAs fihns ngày cách điện chất năm 1936