The Penning Gauge PEG100 provides r

The Penning Gauge PEG100 provides reliable high vacuum measurements. The rugged penning cold cathode sensor has no filament to burn out. Due to titanium cathode plates and the reduced high voltage after plasma ignition, the gauge can be operated also in sputtering applications. The fieldbus options, in addition to the logarithmic analog output signal, allow easy integration into vacuum systems using Profibus DP or DeviceNet protocols.
User Advantages:
Wide measurement range from 1 x 10 -9 to 1 x 10 -2 mbar
All-metal cold cathode sensor (Penning) with ceramic feedthrough
New electrode geometry provides excellent ignition properties
Decreased high voltage after plasma ignition and titanium cathode plates reduce risk of contamination, even during sputtering operations with argon
The anode ring and the titanium cathode can be cleaned or replaced easily
Minimal magnetic field intensity adjacent to gauge
LED indicator for power on and plasma ignited
Logarithmic analog output signal
Fieldbus interface (Profibus DP, DeviceNet) for easy integration into vacuum systems using network communications
Typical Applications:
High vacuum pressure monitoring
Evaporation and sputtering systems
General vacuum measurement and control in the fine and high vacuum range
The Penning Gauge PEG100 is a cold cathode sensor based on the well proven principle of Penning. For degassing of the all-metal sensor with Al 2 O3 current feedthrough, the housing of the transmitter with its electronics and magnet may easily be removed. The magnet offers a closed magnetic field for negligible stray field. The PEG therefore may also be installed close to sensitive parts within a system. The anode ring and the titanium cathode plates may be exchanged easily for quick maintenance should they become contaminated. Since sputtered titan is not magnetic - limiting the build up of short circuits within the sensor - the risk of contamination is greatly reduced. The newly designed cathode plate acts as a baffle for the sensor.
Fieldbus
Fieldbus allows processes or applications the flexibility and control of network communications. It permits communication of exact digital information, independent control, maintenance and diagnostic routines for each connected instrument and simplifies your connection diagram. The measures of control include: monitoring of measurement values, automatic zero point adjustment of gauges, update operator of scheduled maintenance work, warning signals in case of instrument failure, and more.
Profibus DP
The central automation systems, e.g. PLC/PC or process control systems, communicate through a fast serial connection with decentralized instruments such as I/O, motors, valves and pressure transducers. The exchange of data with the decentralized instruments takes place mostly in cycles. The basic functions of the Profibus DP Communication Profile also include acyclic communication services for parameter setting, controlling, monitoring, and alert functions of intelligent instruments.
DeviceNet™
The DeviceNet interface supports polling, bit strobe and change of state/cyclic commands. Like with other DeviceNet instruments the user can monitor and control all available sensor functions. ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION:

Results (Thai) 1:

PEG100 เกจ Penning ให้วัดสุญญากาศสูงเชื่อถือได้ เซนเซอร์ทนทาน penning แคโทดเย็นใยไม่เขียนออกมาได้ แผ่นไทเทเนียมแคโทดและแรงดันสูงลดลงหลังจากจุดระเบิดพลาสม่า มาตรวัดสามารถดำเนินยังในสปัตเตอร์ใช้งาน Fieldbus ตัว นอกจากลอการิทึมแบบแอนะล็อกสัญญาณ ทำให้รวมง่ายระบบสูญญากาศที่ใช้โพรโทคอ Profibus DP หรือ DeviceNetข้อดีของผู้ใช้:ช่วงวัดกว้างจาก-9 1 x 10 1 x 10 -2 mbarทั้งหมดโลหะเย็นแคโทดเซ็นเซอร์ (Penning) กับเซรามิก feedthroughเรขาคณิตของอิเล็กโทรดใหม่มีคุณสมบัติจุดระเบิดที่ดีแรงดันสูงลดลงหลังจากพลาสม่าจุดระเบิดและไทเทเนียมแคโทดแผ่นลดความเสี่ยงการปนเปื้อน แม้กระทั่งในระหว่างการดำเนินงาน ด้วยอาร์กอนพ่นแหวนแอโนดและแคโทดไทเทเนียมสามารถทำความสะอาด หรือเปลี่ยนได้ความเข้มสนามแม่เหล็กน้อยที่สุดอยู่ติดกับวัดไฟแสดงสถานะ LED พลังงานบนและพลาสม่าลุกสัญญาณแบบแอนะล็อกลอการิทึมติดต่อ Fieldbus (Profibus DP, DeviceNet) รวมเป็นระบบสูญญากาศโดยใช้เครือข่ายสื่อสารโดยทั่วไปโปรแกรมประยุกต์:ตรวจสอบแรงดันสูงเครื่องดูดฝุ่นระบบการระเหยและการพ่นทั่วไปเครื่องวัดและควบคุมในช่วงดูดดี และสูงPEG100 เกจ Penning เซนแคโทดเย็นตามหลัก Penning ดีพิสูจน์ได้ การ degassing ของเซ็นเซอร์ทั้งโลหะด้วย Al 2 O3 ปัจจุบัน feedthrough ที่อยู่อาศัยของสัญญาณอิเล็กทรอนิกส์และแม่เหล็กอาจได้ถูกเอาออก แม่เหล็กให้สนามแม่เหล็กแบบปิดในฟิลด์ระยะหลงทาง การตรึงจึงอาจติดตั้งใกล้กับส่วนสำคัญภายในระบบ แหวนแอโนดและแคโทดแผ่นไทเทเนียมอาจสามารถแลกได้รวดเร็วบำรุงรักษาควรจะเป็นปนเปื้อน Sputtered titan ไม่เป็นแม่เหล็ก - จำกัดสร้างขึ้นของลัดวงจรภายในเซ็นเซอร์ - ความเสี่ยงจากการปนเปื้อนเป็นอย่างมากลดลง แผ่นแคโทดออกแบบใหม่ทำหน้าที่เป็น baffle สำหรับเซนเซอร์FieldbusFieldbus ช่วยให้กระบวนการหรือโปรแกรมประยุกต์มีความยืดหยุ่นและควบคุมการสื่อสารเครือข่าย มันช่วยให้การสื่อสารข้อมูลดิจิทัลที่แน่นอน อิสระ บำรุงรักษา และวินิจฉัยคำสั่งสำหรับแต่ละอุปกรณ์ที่เชื่อมต่อ และเชื่อมต่อไดอะแกรมของคุณช่วยให้ง่าย มาตรการควบคุมรวม: ตรวจสอบวัดค่า อัตโนมัติปรับปรุงจุดศูนย์ของมาตรวัด ปรับปรุงการดำเนินการของงานบำรุงรักษาตามกำหนดการ สัญญาณเตือนในกรณีที่อุปกรณ์ล้มเหลว และอื่น ๆProfibus DPระบบอัตโนมัติกลาง เช่น PLC/PC หรือระบบการควบคุมกระบวนการ การสื่อสารผ่านการเชื่อมต่อรวดเร็วประจำกับเครื่องแบบกระจายศูนย์เช่น I/O มอเตอร์ วาล์ว และหัววัดความดัน การแลกเปลี่ยนข้อมูลกับเครื่องมือแบบกระจายศูนย์เกิดขึ้นส่วนใหญ่ในรอบ ฟังก์ชันพื้นฐานของโพรไฟล์ Profibus DP สื่อสารได้แก่บริการสื่อสาร acyclic สำหรับตั้งค่าพารามิเตอร์ การควบคุม ติดตาม และฟังก์ชั่นแจ้งเตือนเครื่องมืออัจฉริยะDeviceNet ™DeviceNet สนับสนุนอินเทอร์เฟซสำรวจ บิตแฟลชและเปลี่ยนแปลงคำสั่งรัฐ/ทุกรอบ เหมือนกับเครื่องมืออื่น ๆ DeviceNet ผู้ใช้สามารถตรวจสอบ และควบคุมทุกฟังก์ชั่นมีเซ็นเซอร์ เชื่อมโยงข้อมูลทางเทคนิค:

Results (Thai) 2:

วัดคอก PEG100 ให้วัดสูญญากาศสูงที่เชื่อถือได้ ลีลาเซ็นเซอร์แคโทดเย็นขรุขระมีเส้นใยที่ไม่มีการเผาไหม้ออก เนื่องจากไทเทเนียมแผ่นแคโทดและแรงดันสูงที่ลดลงหลังจากการจุดระเบิดพลาสม่า, วัดสามารถดำเนินการนอกจากนี้ยังมีการใช้งานสปัตเตอร์ใน ตัวเลือก fieldbus นอกเหนือไปจากลอการิทึมสัญญาณอนาล็อกให้รวมง่ายในระบบสูญญากาศใช้ DP Profibus หรือ DeviceNet โปรโตคอล.
ข้อดีผู้ใช้:
ช่วงการวัดกว้าง 1 x 10 -9 ถึง 1 x 10 -2
เอ็มบาร์โลหะทั้งหมดแคโทดเย็นเซ็นเซอร์ (คอก) กับเซรามิก feedthrough เรขาคณิตขั้วใหม่มีคุณสมบัติการเผาไหม้ที่ดีเยี่ยมลดแรงดันไฟฟ้าสูงหลังจากการจุดระเบิดพลาสม่าและไททาเนียมแผ่นแคโทดลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนแม้ในช่วงการดำเนินงานของสปัตเตอร์กับอาร์กอนแหวนขั้วบวกและขั้วลบไทเทเนียมสามารถทำความสะอาดหรือเปลี่ยนได้อย่างง่ายดายน้อยที่สุดแม่เหล็กความเข้มของสนามที่อยู่ติดกับวัดไฟ LED สำหรับการใช้พลังงานและพลาสม่าจุดลอการิทึมสัญญาณอะนาล็อกอินเตอร์เฟซ Fieldbus (DP Profibus, DeviceNet) สำหรับการรวมง่ายในระบบสูญญากาศโดยใช้เครือข่ายการสื่อสารการใช้งานทั่วไป: ความดันสูงการตรวจสอบการระเหยและระบบสปัตเตอร์วัดสูญญากาศทั่วไปและการควบคุมอยู่ในช่วงสูญญากาศที่ดีและสูงคอกวัด PEG100 เป็นเซ็นเซอร์แคโทดเย็นอยู่บนพื้นฐานของหลักการพิสูจน์กันของคอก สำหรับ degassing ของเซ็นเซอร์โลหะทั้งหมดกับอัล 2 O3 ปัจจุบัน feedthrough ที่อยู่อาศัยของเครื่องส่งสัญญาณกับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และแม่เหล็กของมันอาจจะถูกลบออกได้อย่างง่ายดาย แม่เหล็กมีสนามแม่เหล็กที่ปิดสนิทสำหรับสนามจรจัดเล็กน้อย ตรึงจึงยังอาจจะติดตั้งใกล้กับชิ้นส่วนที่มีความสำคัญภายในระบบ แหวนขั้วบวกขั้วลบและแผ่นไทเทเนียมอาจจะแลกเปลี่ยนได้อย่างง่ายดายสำหรับการบำรุงรักษาอย่างรวดเร็วพวกเขาควรจะเป็นที่ปนเปื้อน ตั้งแต่ยักษ์ sputtered ไม่แม่เหล็ก - จำกัด การสร้างขึ้นของการลัดวงจรภายในเซ็นเซอร์ - ความเสี่ยงของการปนเปื้อนจะลดลงมาก แผ่นแคโทดออกแบบใหม่ทำหน้าที่เป็นแผ่นกั้นสำหรับเซ็นเซอร์. Fieldbus Fieldbus ช่วยให้กระบวนการหรือการใช้งานมีความยืดหยุ่นและการควบคุมของเครือข่ายการสื่อสาร จะอนุญาตให้การสื่อสารข้อมูลดิจิตอลที่แน่นอนควบคุมอิสระในการบำรุงรักษาและการปฏิบัติในการวินิจฉัยสำหรับตราสารแต่ละการเชื่อมต่อและช่วยลดความยุ่งยากแผนภาพเชื่อมต่อของคุณ มาตรการในการควบคุมรวมถึง:. การตรวจสอบของค่าการวัดอัตโนมัติปรับจุดศูนย์ของเครื่องวัดประกอบการปรับปรุงการทำงานของการบำรุงรักษาตามกำหนดเวลาเตือนสัญญาณในกรณีของความล้มเหลวเครื่องมือและอื่น ๆProfibus DP ระบบอัตโนมัติกลางเช่นควบคุม PLC / PC หรือกระบวนการ ระบบการสื่อสารผ่านการเชื่อมต่อแบบอนุกรมรวดเร็วด้วยเครื่องมือการกระจายอำนาจเช่น I / O, มอเตอร์, วาล์วและก้อนดัน การแลกเปลี่ยนข้อมูลกับเครื่องมือการกระจายอำนาจจะเกิดขึ้นส่วนใหญ่ในรอบ ฟังก์ชั่นพื้นฐานของข้อมูลส่วนตัว DP Profibus การสื่อสาร ได้แก่ บริการด้านการสื่อสารวัฏจักรสำหรับการตั้งค่าพารามิเตอร์การควบคุมตรวจสอบและฟังก์ชั่นการแจ้งเตือนของเครื่องมืออัจฉริยะ. DeviceNet ™อินเตอร์เฟซที่รองรับDeviceNet เลือกตั้งแฟลชบิตและการเปลี่ยนแปลงของรัฐ / คำสั่งวงจร เช่นเดียวกับเครื่องมืออื่น ๆ DeviceNet ผู้ใช้สามารถตรวจสอบและควบคุมการทำงานของเซ็นเซอร์ที่มีอยู่ทั้งหมด รข้อมูลทางเทคนิค:

Results (Thai) 3:

ที่ให้บริการที่เชื่อถือได้สูญญากาศสูง peg100 เพนนิ่งเกจวัด ทนทาน penning แคโทดเย็นเซ็นเซอร์ไม่มีเส้นใยที่จะเผาไหม้ออก เนื่องจากแผ่นหลอดไทเทเนียมและลดแรงดันสูงหลังจากการจุดระเบิดพลาสม่า , วัดสามารถดำเนินการในการส . เลือกฟิลด์บัส นอกเหนือไปจากสัญญาณลอการิทึมอนาล็อก ,อนุญาตให้รวมง่ายในการใช้ระบบ Profibus DP สูญญากาศหรือ devicenet โปรโตคอล ข้อดีของผู้ใช้ :

ช่วงการวัดกว้าง 1 x 10 - 9 - 1 x 10 - 2 มิลลิบาร์
ทั้งหมดแคโทดเย็นโลหะ เซ็นเซอร์ ( เขียน ) ด้วยเซรามิค feedthrough
ใหม่ขั้วเรขาคณิตให้คุณสมบัติการเผาไหม้ที่ดี
ลดลงแรงดันสูงหลังจากการเผาไหม้ในพลาสมาและไทเทเนียมแคโทด แผ่นลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนแม้ในระหว่างการสปัตเตอร์กับอาร์กอน
แอโนดและแคโทดแหวนไทเทเนียมสามารถทำความสะอาดหรือเปลี่ยนได้ง่าย
สนามแม่เหล็กความเข้มน้อยที่สุด ติดกับวัด
LED อำนาจและพลาสมา ติดไฟ
ลอการิทึมอนาล็อกสัญญาณ
ฟิลด์บัสอินเตอร์เฟซ ( Profibus DP devicenet , ) สำหรับการรวมง่ายในระบบสูญญากาศโดยใช้เครือข่ายการสื่อสาร
ใช้งานทั่วไป :
สูงความดันสูญญากาศการระเหยและระบบติดตาม

ทำงานเครื่องดูดฝุ่นทั่วไปการวัดและควบคุมในการปรับและช่วงสูญญากาศสูง
peg100 เพนนิ่งเกจเป็นแคโทดเย็นเซ็นเซอร์ตามดีพิสูจน์หลักการเขียน . สำหรับ degassing ของโลหะเซนเซอร์ด้วยล 2 feedthrough ปัจจุบัน O3 ที่อยู่อาศัยของตัวส่งด้วยอิเล็กทรอนิกส์และแม่เหล็กได้อย่างง่ายดายอาจถูกลบออกแม่เหล็กมีสนามแม่เหล็กปิดสนามหลงทางเล็กน้อย หมุดจึงอาจถูกติดตั้งอยู่ใกล้กับส่วนที่อ่อนไหวภายในระบบ แหวนไทเทเนียมแอโนดและแคโทดแผ่นอาจแลกเปลี่ยนได้อย่างง่ายดายเพื่อรักษาเร็วก็ปนเปื้อนตั้งแต่ sputtered ไททันไม่ใช่แม่เหล็ก - การสร้างขึ้นของการลัดวงจรภายในเซ็นเซอร์ - ความเสี่ยงของการปนเปื้อนจะลดลงอย่างมาก ออกแบบมาใหม่แคโทดจานทำหน้าที่เป็นดักจับสำหรับเซ็นเซอร์ .

ช่วยให้กระบวนการฟิลด์บัสฟิลด์บัส หรือโปรแกรมมีความยืดหยุ่นและควบคุมการสื่อสารเครือข่าย มันอนุญาตให้สื่อสารข้อมูลดิจิตอลที่ควบคุมอิสระการบำรุงรักษาและการปฏิบัติการวินิจฉัยสำหรับแต่ละเชื่อมต่อเครื่องมือและง่ายแผนภาพการเชื่อมต่อของคุณ มาตรการควบคุม ได้แก่ การตรวจสอบค่าการวัด , การปรับจุดศูนย์อัตโนมัติของเครื่องวัด , ปรับปรุงพัฒนาตารางการซ่อมบำรุงงานเตือนสัญญาณในกรณีของความล้มเหลว , เครื่องมือและอื่น ๆ .

ระบบ Profibus DP อัตโนมัติกลาง เช่นPLC / PC หรือระบบการควบคุมกระบวนการสื่อสารผ่านการเชื่อมต่อแบบอนุกรมได้อย่างรวดเร็วด้วยเครื่องมือกระจายเช่น I / O , มอเตอร์ , วาล์วและ Transducers ความดัน แลกเปลี่ยนข้อมูลกับอุปกรณ์กระจายเกิดขึ้นส่วนใหญ่ในรอบ พื้นฐานของการสื่อสารข้อมูล นอกจากนี้ยังรวมถึง Profibus DP บริการการสื่อสารความเฉื่อยเพื่อตั้งค่าพารามิเตอร์ การควบคุมการตรวจสอบและแจ้งเตือนการทำงานของเครื่องมืออัจฉริยะ devicenet ™

devicenet อินเตอร์เฟซที่รองรับเลือกตั้ง กระพริบเล็กน้อยและเปลี่ยนคำสั่งรัฐเป็นวงกลม . เป็นเครื่องมือ devicenet อื่น ๆผู้ใช้สามารถตรวจสอบและควบคุมเซ็นเซอร์ใช้ได้ทุกฟังก์ชัน ที่เกี่ยวข้องข้อมูลทางเทคนิค :